التحكم في تسرب الفراغ لخط إنتاج طلاء أشباه الموصلات

إعادة بناء أنابيب الضغط السلبي لخط إنتاج الطلاء

لدينا مصنع لطلاء البصري في تايلاند، أنابيب العادم الفراغية لهذا المصنع كانت تستخدم صمامات فراشة هوائية عادية.بعد أن وصلت المعدات إلى مستوى الفراغ المحدد مسبقا، سوف يرتفع الضغط في غضون 5 دقائق.صمام الفراشة الهوائي، تم تحسين معدل استعادة الضغط بشكل ملحوظ ، ولم يعد استبدال حلقة الختم يتطلب تفكيك الصمام بأكمله.تم تقليل وقت الصيانة من 4 ساعات إلى 40 دقيقةهذه الحالات تمثل تماما في مناطق إنتاج أشباه الموصلات الناشئة في جنوب شرق آسيا.

تأثير تسرب الفراغ على خط إنتاج طلاء أشباه الموصلات

في خطوط إنتاج أشباه الموصلات والطلاء البصري في جنوب شرق آسيااستقرار نظام الفراغ يؤثر بشكل مباشر على جودة طبقات الطلاء وكفاءة المعدات بشكل عاممع تركيز إنشاء مصانع رقائق إقليمية وخطوط إنتاج الشمسية ذات الألواح الرقيقة، يواجه فنيون الهندسة مشكلة مشتركة:تسرب الفراغ يسبب تقلبات في ضغط الغرفة والضغوط الجزئية غير الطبيعية للغازات المتبقية، مما يؤدي في نهاية المطاف إلى انخفاض صلابة الطلاء أو عيوب ثقب الدبابيس. غالبًا ما يكون مصدر التسرب ليس في الغرفة نفسها ، ولكن في هيكل ختم الصمام في نقاط اتصال الأنابيب.

لماذا الصمامات العادية ليست مناسبة لظروف الفراغ

1. عدم كفاية ضغط حلقة الختم: عند الضغط المنخفض ، لا تناسب لوحة الصمام بشكل جيد مع حلقة الختم ، مما يتسبب في تسرب الغاز على طول سطح الختم.
2. تسرب في ختم العمود: يستخدم الجزء الدوار من جذع الصمام حلقة O العادية ، والتي ستسرب تدريجياً بمرور الوقت بسبب الاحتكاك الممتد.
3. تلوث إطلاق غازات جسم الصمام: يطلق بخار الماء والمواد العضوية الممتصة على سطح الصب ببطء في ظل ظروف الفراغ ، مما يؤثر على درجة الفراغ.

خصائص صمام الفراشة الفراغ المغلق ثنائي الاتجاه

1. الختم الثنائي الاتجاه وختم العمود التعويضي الذاتي

   • يجب أن يضمن صمام الفراشة الفراغ أداء الختم في اتجاهات الضغط إلى الأمام والخلف.صمام الفراشة الفراغ من سلسلة SONGO GIQ لديه حلقة ختم يتم ضغطها في وقت واحد من قبل لوحة الصمام وجسم الصمام عند إغلاق الصمام، لتحقيق تسرب صفر في كلا الاتجاهين ؛ يتبنى جذع الصمام هيكل سد عمود تعويض ذاتي يقوم بتعديل قوة الضغط تلقائيًا مع حدوث الارتداء ،منع التسلل العكسي للجو الخارجيمثل هذا الهيكل حاسم لتحقيق سلامة الفراغ
2. مادة حلقة الختم ومجموعة درجات الحرارة
   • يحدد مادة الختم نافذة العملية المطبقة للصمام. يمكن أن تتحمل FKM درجات حرارة تتراوح من -30 °C إلى + 150 °C وهي مناسبة لأنابيب الفراغ ذات درجة حرارة متوسطة.NBR هو أيضا في نطاق درجة الحرارة من -25 °C إلى +80 °C.
3. قابلية التكيف مع الضغط الواسع ومادة جسم الصمام
   • يجب أن يغطي ضغط عمل صمام الفراشة الفراغ نطاقًا واسعًا من الفراغ المنخفض إلى الفراغ العالي.يجب أن تكون لوحة الصمام مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ أو الفولاذ الكربوني المطلي بالنيكل لمقاومة تآكل غازات العملية وتقليل تسرب الغاز.

في مجال طلاء أشباه الموصلات وعمليات الفراغ ، فإن موثوقية الختم هي الأساس للحفاظ على مستوى الفراغ في العملية.اختيار صمامات الفراشة الفراغية مع الختم ثنائي الاتجاه، وتعويض نفسها أغلفة العمود، والقدرة على التكيف الضغط واسعة تساعد على الحد من مخاطر التسرب وأوقات التوقف غير المخطط لها.