Controllo delle perdite di vuoto per la linea di produzione di rivestimenti per semiconduttori

Ricostruzione di condotte a pressione negativa per linea di produzione di rivestimenti

Abbiamo una fabbrica di rivestimenti ottici situata in Thailandia. I tubi di scarico del vuoto di questa fabbrica utilizzavano originariamente normali valvole a farfalla pneumatiche. Dopo che l'attrezzatura ha raggiunto il livello di vuoto prestabilito, la pressione aumentava entro 5 minuti. Dopo aver sostituito la "valvola a farfalla pneumatica per vuoto", la velocità di recupero della pressione è stata significativamente migliorata e la sostituzione dell'anello di tenuta non ha più richiesto lo smontaggio dell'intera valvola. Il tempo di manutenzione è stato ridotto da 4 ore a 40 minuti. Tali casi sono piuttosto rappresentativi nelle aree emergenti di produzione di semiconduttori nel Sud-est asiatico.L'impatto delle perdite di vuoto sulla linea di produzione di rivestimenti per semiconduttoriNelle linee di produzione di rivestimenti per semiconduttori e ottici nel Sud-est asiatico, la stabilità del sistema di vuoto influisce direttamente sulla qualità degli strati di rivestimento e sull'efficienza complessiva dell'attrezzatura. Con la concentrazione di fabbriche di wafer regionali e linee di produzione di celle solari a film sottile, i tecnici di ingegneria si trovano ad affrontare un problema comune: le perdite di vuoto causano fluttuazioni della pressione della camera e pressioni parziali anomale del gas residuo, con conseguente diminuzione dell'adesione del rivestimento o difetti a foro di spillo. La fonte della perdita spesso non è nella camera stessa, ma nella struttura di tenuta della valvola nei punti di connessione dei tubi.

Perché le valvole normali non sono adatte alle condizioni di vuoto

Compressione insufficiente dell'anello di tenuta: a bassa pressione, la piastra della valvola non aderisce strettamente all'anello di tenuta, causando perdite di gas lungo la superficie di tenuta.

Perdite nella tenuta dell'albero: la parte rotante dello stelo della valvola utilizza un normale O-ring, che nel tempo perde gradualmente a causa dell'attrito prolungato.

1. Contaminazione da rilascio di gas dal corpo valvola: il vapore acqueo e le sostanze organiche adsorbite sulla superficie della fusione si rilasciano lentamente in condizioni di vuoto, influenzando il grado di vuoto.
2. Le caratteristiche della valvola a farfalla per vuoto a tenuta bidirezionale
3. Tenuta Bidirezionale e Tenuta Albero Autocompensante

La valvola a farfalla per vuoto deve garantire le prestazioni di tenuta sia in direzione di pressione in avanti che inversa. Ad esempio, la valvola a farfalla per vuoto serie SONGO GIQ ha un anello di tenuta che viene contemporaneamente compresso dalla piastra della valvola e dal corpo valvola quando la valvola è chiusa, ottenendo zero perdite in entrambe le direzioni; lo stelo della valvola adotta una struttura di tenuta albero autocompensante, che regola automaticamente la forza di compressione all'occorrere dell'usura, prevenendo l'infiltrazione inversa dell'atmosfera esterna. Tale struttura è cruciale per l'integrità del vuoto.

1. Materiale dell'anello di tenuta e intervallo di temperatura

   • Il materiale di tenuta determina la finestra di processo applicabile della valvola. L'FKM può resistere a temperature comprese tra -30°C e +150°C ed è adatto per condotte a vuoto a media temperatura; anche l'NBR rientra nell'intervallo di temperatura da -25°C a +80°C.
2. Ampia adattabilità di pressione e materiale del corpo valvola
   • La pressione di esercizio della valvola a farfalla per vuoto dovrebbe coprire un'ampia gamma dal vuoto basso al vuoto alto. Il corpo valvola, lo stelo valvola e la piastra valvola dovrebbero essere realizzati in acciaio inossidabile o acciaio al carbonio nichelato per resistere alla corrosione dei gas di processo e ridurre le perdite di gas.
3. Nel campo dei processi di rivestimento e vuoto per semiconduttori, l'affidabilità della tenuta è il fondamento per mantenere il livello di vuoto del processo. La selezione di valvole a farfalla per vuoto con tenuta bidirezionale, tenute albero autocompensanti e ampia adattabilità di pressione aiuta a ridurre i rischi di perdite e i tempi di inattività non pianificati.