Control de fugas de vacío para la línea de producción de revestimiento de semiconductores

Reconstrucción de tuberías de presión negativa para línea de producción de recubrimientos

Tenemos una fábrica de recubrimientos ópticos ubicada en Tailandia. Las tuberías de escape de vacío de esta fábrica originalmente utilizaban válvulas de mariposa neumáticas ordinarias. Después de que el equipo alcanzara el nivel de vacío predeterminado, la presión aumentaba en 5 minutos. Después de reemplazar la válvula de mariposa de vacío neumática, la tasa de recuperación de presión mejoró significativamente y el reemplazo del anillo de sellado ya no requirió desmontar toda la válvula. El tiempo de mantenimiento se redujo de 4 horas a 40 minutos. Tales casos son bastante representativos en las áreas emergentes de producción de semiconductores en el Sudeste Asiático.El impacto de la fuga de vacío en la línea de producción de recubrimientos de semiconductoresEn las líneas de producción de recubrimientos de semiconductores y ópticos en el Sudeste Asiático, la estabilidad del sistema de vacío afecta directamente la calidad de las capas de recubrimiento y la eficiencia general del equipo. Con el establecimiento concentrado de fábricas regionales de obleas y líneas de producción de energía solar de película delgada, los técnicos de ingeniería se enfrentan a un problema común: las fugas de vacío causan fluctuaciones en la presión de la cámara y presiones parciales de gas residuales anormales, lo que finalmente resulta en una disminución de la adhesión del recubrimiento o defectos de agujeros de alfiler. La fuente de fuga a menudo no está en la cámara en sí, sino en la estructura de sellado de la válvula en los puntos de conexión de la tubería.

¿Por qué las válvulas ordinarias no son adecuadas para condiciones de vacío?

Compresión insuficiente del anillo de sellado: A baja presión, la placa de la válvula no se ajusta herméticamente al anillo de sellado, lo que provoca fugas de gas a lo largo de la superficie de sellado.

Fuga en el sello del eje: La parte giratoria del vástago de la válvula utiliza una junta tórica regular, que con el tiempo filtrará gradualmente debido a la fricción prolongada.

1. Contaminación por liberación de gas del cuerpo de la válvula: El vapor de agua y las sustancias orgánicas adsorbidas en la superficie de la fundición se liberan lentamente en condiciones de vacío, afectando el grado de vacío.
2. Las características de la válvula de mariposa de vacío con sellado bidireccional
3. Sellado bidireccional y sello de eje autocompensador

La válvula de mariposa de vacío debe garantizar el rendimiento de sellado tanto en la dirección de presión hacia adelante como hacia atrás. Por ejemplo, la válvula de mariposa de vacío serie SONGO GIQ tiene un anillo de sellado que se comprime simultáneamente por la placa de la válvula y el cuerpo de la válvula cuando la válvula está cerrada, logrando cero fugas en ambas direcciones; el vástago de la válvula adopta una estructura de sello de eje autocompensador, que ajusta automáticamente la fuerza de compresión a medida que ocurre el desgaste, evitando la infiltración inversa de la atmósfera exterior. Dicha estructura es crucial para la integridad del vacío.

1. Material del anillo de sellado y rango de temperatura

   • El material de sellado determina la ventana de proceso aplicable de la válvula. El FKM puede soportar temperaturas que van desde -30 °C hasta +150 °C y es adecuado para tuberías de vacío a temperatura media; el NBR también está dentro del rango de temperatura de -25 °C a +80 °C.
2. Amplia adaptabilidad de presión y material del cuerpo de la válvula
   • La presión de trabajo de la válvula de mariposa de vacío debe cubrir un amplio rango, desde vacío bajo hasta vacío alto. El cuerpo de la válvula, el vástago de la válvula y la placa de la válvula deben estar hechos de acero inoxidable o acero al carbono niquelado para resistir la corrosión de los gases de proceso y reducir las fugas de gas.
3. En el campo de los procesos de recubrimiento y vacío de semiconductores, la fiabilidad del sellado es la base para mantener el nivel de vacío del proceso. La selección de válvulas de mariposa de vacío con sellado bidireccional, sellos de eje autocompensadores y amplia adaptabilidad de presión ayuda a reducir los riesgos de fugas y el tiempo de inactividad no planificado.