Kontrol kebocoran vakum untuk jalur produksi lapisan semikonduktor

Rekonstruksi pipa bertekanan negatif untuk lini produksi pelapisan

Kami memiliki pabrik pelapisan optik yang berlokasi di Thailand. Pipa pembuangan vakum pabrik ini awalnya menggunakan katup kupu-kupu pneumatik biasa. Setelah peralatan mencapai tingkat vakum yang ditentukan, tekanan akan naik dalam waktu 5 menit. Setelah mengganti katup kupu-kupu vakum pneumatik, tingkat pemulihan tekanan meningkat secara signifikan, dan penggantian cincin penyegel tidak lagi memerlukan pembongkaran seluruh katup. Waktu perawatan berkurang dari 4 jam menjadi 40 menit. Kasus seperti ini cukup representatif di area produksi semikonduktor yang sedang berkembang di Asia Tenggara.

Dampak kebocoran vakum pada lini produksi pelapisan semikonduktor

Di lini produksi pelapisan semikonduktor dan optik di Asia Tenggara, stabilitas sistem vakum secara langsung memengaruhi kualitas lapisan pelapis dan efisiensi keseluruhan peralatan. Dengan terkonsentrasinya pendirian pabrik wafer regional dan lini produksi tenaga surya film tipis, teknisi teknik menghadapi masalah umum: kebocoran vakum menyebabkan fluktuasi tekanan ruang dan tekanan parsial gas sisa yang abnormal, yang pada akhirnya mengakibatkan penurunan adhesi pelapisan atau cacat lubang jarum. Sumber kebocoran seringkali bukan pada ruang itu sendiri, tetapi pada struktur penyegelan katup di titik sambungan pipa.

Mengapa katup biasa tidak cocok untuk kondisi vakum

1. Kompresi cincin penyegel yang tidak mencukupi: Pada tekanan rendah, pelat katup tidak pas dengan cincin penyegel, menyebabkan gas bocor di sepanjang permukaan penyegelan.
2. Kebocoran pada segel poros: Bagian berputar dari batang katup menggunakan O-ring biasa, yang akan bocor secara bertahap seiring waktu karena gesekan yang lama.
3. Kontaminasi pelepasan gas badan katup: Uap air dan zat organik yang teradsorpsi di permukaan pengecoran perlahan-lahan dilepaskan dalam kondisi vakum, memengaruhi tingkat vakum.

Fitur katup kupu-kupu vakum tersegel dua arah

1. Segel Dua Arah dan Segel Poros yang Mengkompensasi Diri

   • Katup kupu-kupu vakum harus memastikan kinerja penyegelan baik dalam arah tekanan maju maupun mundur. Misalnya, katup kupu-kupu vakum seri SONGO GIQ memiliki cincin penyegel yang secara bersamaan dikompresi oleh pelat katup dan badan katup saat katup ditutup, mencapai kebocoran nol di kedua arah; batang katup mengadopsi struktur segel poros yang mengkompensasi diri, yang secara otomatis menyesuaikan gaya kompresi seiring terjadinya keausan, mencegah infiltrasi balik atmosfer eksternal. Struktur seperti itu sangat penting untuk integritas vakum.
2. Bahan cincin penyegel dan rentang suhu
   • Bahan penyegel menentukan jendela proses yang berlaku untuk katup. FKM dapat menahan suhu mulai dari -30°C hingga +150°C dan cocok untuk pipa vakum bersuhu sedang; NBR juga berada dalam rentang suhu -25°C hingga +80°C.
3. Adaptabilitas tekanan lebar dan bahan badan katup
   • Tekanan kerja katup kupu-kupu vakum harus mencakup rentang yang luas dari vakum rendah hingga vakum tinggi. Badan katup, batang katup, dan pelat katup harus terbuat dari baja tahan karat atau baja karbon berlapis nikel untuk menahan korosi gas proses dan mengurangi kebocoran gas.

Di bidang pelapisan semikonduktor dan proses vakum, keandalan penyegelan adalah dasar untuk menjaga tingkat vakum proses. Memilih katup kupu-kupu vakum dengan penyegelan dua arah, segel poros yang mengkompensasi diri, dan adaptabilitas tekanan lebar membantu mengurangi risiko kebocoran dan waktu henti yang tidak terencana.