半導体コーティング生産ラインの真空漏洩制御

コーティング生産ラインの負圧配管の再構築

タイに光学コーティング工場があります。この工場の真空排気管には、当初、通常の空圧バタフライバルブが使用されていました。装置が所定の真空度に達した後、5分以内に圧力が上昇しました。空圧真空バタフライバルブに交換した後、圧力回復率は大幅に向上し、シールリングの交換はバルブ全体の分解を必要としなくなりました。メンテナンス時間は4時間から40分に短縮されました。このような事例は、東南アジアの新興半導体生産地域では非常に代表的です。半導体コーティング生産ラインにおける真空漏洩の影響東南アジアの半導体および光学コーティング生産ラインでは、真空システムの安定性がコーティング層の品質と装置全体の効率に直接影響します。地域のウェハー工場や薄膜太陽電池生産ラインが集中して設立されるにつれて、エンジニアリング技術者は共通の問題に直面しています。真空漏洩はチャンバー圧力の変動と異常な残留ガス分圧を引き起こし、最終的にはコーティング接着力の低下またはピンホール欠陥につながります。漏洩源は、チャンバー自体ではなく、配管接続点のバルブシール構造にあることがよくあります。

通常のバルブが真空条件に適さない理由

シールリングの圧縮不足：低圧では、バルブプレートがシールリングにしっかりと密着せず、シール面を沿ってガスが漏れます。

シャフトシールの漏洩：バルブステムの回転部分には通常のOリングが使用されており、長時間の摩擦により経年劣化して徐々に漏れが発生します。

1. バルブ本体からのガス放出による汚染：鋳造表面に吸着した水蒸気や有機物が真空条件下でゆっくりと放出され、真空度を低下させます。
2. 双方向シール真空バタフライバルブの特徴
3. 双方向シールとセルフコンペンセーティングシャフトシール

真空バタフライバルブは、順圧および逆圧の両方向でシール性能を確保する必要があります。例えば、SONGO GIQシリーズの真空バタフライバルブは、バルブが閉じられたときにバルブプレートとバルブ本体の両方でシールリングが同時に圧縮され、両方向でゼロリークを実現します。バルブステムはセルフコンペンセーティングシャフトシール構造を採用しており、摩耗が発生すると自動的に圧縮力を調整し、外部大気の逆浸入を防ぎます。このような構造は、真空の完全性にとって非常に重要です。

1. シールリングの材質と温度範囲

   • シールの材質は、バルブの適用可能なプロセスウィンドウを決定します。FKMは-30℃から+150℃の温度に耐え、中温真空配管に適しています。NBRも-25℃から+80℃の温度範囲内です。
2. 広い圧力適応性とバルブ本体の材質
   • 真空バタフライバルブの作動圧力は、低真空から高真空までの広い範囲をカバーする必要があります。バルブ本体、バルブステム、バルブプレートは、プロセスガスの腐食に耐え、ガス漏れを減らすために、ステンレス鋼またはニッケルメッキされた炭素鋼で作られるべきです。
3. 半導体コーティングおよび真空プロセス分野では、シール信頼性がプロセス真空レベルを維持するための基盤です。双方向シール、セルフコンペンセーティングシャフトシール、および広い圧力適応性を備えた真空バタフライバルブを選択することは、漏洩リスクと計画外のダウンタイムを削減するのに役立ちます。