Vacuümlekkagecontrole voor productielijn voor halfgeleidercoating

Reconstructie van negatieve drukleidingen voor coatingproductielijn

We hebben een optische coatingfabriek in Thailand. De vacuümuitlaatpijpen van deze fabriek gebruikten oorspronkelijk gewone pneumatische vlinderkleppen. Nadat de apparatuur het vooraf bepaalde vacuümniveau had bereikt, steeg de druk binnen 5 minuten. Na het vervangen van depneumatische vacuümvlinderklep, werd de snelheid van drukherstel aanzienlijk verbeterd en de vervanging van de afdichtring vereiste geen demontage van de gehele klep meer. De onderhoudstijd werd teruggebracht van 4 uur naar 40 minuten. Dergelijke gevallen zijn vrij representatief in de opkomende halfgeleiderproductiegebieden in Zuidoost-Azië.

De impact van vacuümlekkage op de halfgeleidercoatingproductielijn

In halfgeleider- en optische coatingproductielijnen in Zuidoost-Azië beïnvloedt de stabiliteit van het vacuümsysteem direct de kwaliteit van de coatinglagen en de algehele efficiëntie van de apparatuur. Met de geconcentreerde oprichting van regionale waferfabrieken en dunnefilm zonne-productielijnen, worden technici geconfronteerd met een veelvoorkomend probleem: vacuümlekkage veroorzaakt fluctuaties in de kamerdruk en abnormale restgas-partiële drukken, wat uiteindelijk resulteert in verminderde coatingadhesie of pinhole-defecten. De lekkagebron bevindt zich vaak niet in de kamer zelf, maar in de afdichtingsstructuur van de klep bij de pijpaansluitingen.

Waarom zijn gewone kleppen niet geschikt voor vacuümomstandigheden

1. Onvoldoende compressie van de afdichtring: Bij lage druk past de klepplaat niet goed op de afdichtring, waardoor gas langs het afdichtingsoppervlak lekt.
2. Lekkage bij de asafdichting: Het roterende deel van de klepsteel gebruikt een gewone O-ring, die na verloop van tijd zal lekken door langdurige wrijving.
3. Gasafgifte van het kleplichaam: Waterdamp en organische stoffen die op het oppervlak van de gietstukken zijn geadsorbeerd, komen langzaam vrij onder vacuümomstandigheden, wat de vacuümgraad beïnvloedt.

De kenmerken van de bidirectioneel afgedichte vacuümvlinderklep

1. Bidirectionele afdichting en zelfcompenserende asafdichting

   • De vacuümvlinderklep moet de afdichtingsprestaties garanderen in zowel de voorwaartse als de achterwaartse drukrichting. Bijvoorbeeld, de SONGO GIQ-serie vacuümvlinderklep heeft een afdichtring die tegelijkertijd wordt samengedrukt door de klepplaat en het kleplichaam wanneer de klep gesloten is, waardoor nul lekkage in beide richtingen wordt bereikt; de klepsteel heeft een zelfcompenserende asafdichtingsstructuur, die de compressiekracht automatisch aanpast naarmate er slijtage optreedt, waardoor externe atmosferische omgekeerde infiltratie wordt voorkomen. Een dergelijke structuur is cruciaal voor de vacuümintegriteit.
2. Materiaal van de afdichtring en temperatuurbereik
   • Het afdichtingsmateriaal bepaalt het toepassingsvenster van de klep. FKM kan temperaturen van -30°C tot +150°C weerstaan en is geschikt voor vacuümpijpleidingen met gemiddelde temperatuur; NBR valt ook binnen het temperatuurbereik van -25°C tot +80°C.
3. Brede drukadaptiviteit en materiaal van het kleplichaam
   • De werkdruk van de vacuümvlinderklep moet een breed bereik bestrijken van laag vacuüm tot hoog vacuüm. Het kleplichaam, de klepsteel en de klepplaat moeten gemaakt zijn van roestvrij staal of koolstofstaal, vernikkeld, om corrosie door procesgassen te weerstaan en gaslekkage te verminderen.

Op het gebied van halfgeleidercoating en vacuümprocessen is de betrouwbaarheid van de afdichting de basis voor het handhaven van het vacuümniveau van het proces. Het selecteren van vacuümvlinderkleppen met bidirectionele afdichting, zelfcompenserende asafdichtingen en brede drukadaptiviteit helpt om lekkagerisico's en ongeplande stilstand te verminderen.