Contrôle des fuites sous vide pour la chaîne de production de revêtements de semi-conducteurs

Reconstruction de conduites sous pression négative pour la ligne de production de revêtements

Nous avons une usine de revêtement optique située en Thaïlande. Les tuyaux d'échappement sous vide de cette usine utilisaient à l'origine des vannes pneumatiques à papillon ordinaires.Après que l'équipement ait atteint le niveau de vide prédéterminéAprès avoir remplacé lesoupape de papillon à vide pneumatique, le taux de récupération de la pression s'est considérablement amélioré et le remplacement de l'anneau d'étanchéité n'a plus nécessité de démonter toute la vanne.Le temps de maintenance est passé de 4 heures à 40 minutesCes cas sont assez représentatifs dans les zones émergentes de production de semi-conducteurs en Asie du Sud-Est.

L'impact de la fuite de vide sur la chaîne de production de revêtement de semi-conducteurs

Dans les lignes de production de semi-conducteurs et de revêtements optiques en Asie du Sud-Est,la stabilité du système à vide a une incidence directe sur la qualité des couches de revêtement et l'efficacité globale de l'équipement;Avec l'établissement concentré d'usines régionales de plaquettes et de lignes de production solaire à film mince, les techniciens en ingénierie sont confrontés à un problème commun:La fuite de vide provoque des fluctuations de la pression de la chambre et des pressions partielles anormales du gaz résiduelLa source de fuite n'est souvent pas dans la chambre elle-même, mais dans la structure d'étanchéité de la vanne aux points de raccordement du tuyau.

Pourquoi les vannes ordinaires ne conviennent pas pour les conditions de vide

1. Compression insuffisante de l'anneau d'étanchéité: à basse pression, la plaque de soupape ne s'adapte pas bien à l'anneau d'étanchéité, ce qui provoque une fuite de gaz le long de la surface d'étanchéité.
2. Fuite à l'étanchéité de l'arbre: la partie tournante de la tige de soupape utilise un anneau O régulier, qui fuit progressivement au fil du temps en raison d'un frottement prolongé.
3. Contamination par dégagement de gaz du corps de soupape: la vapeur d'eau et les substances organiques adsorbées à la surface de la coulée se dégagent lentement dans des conditions de vide, ce qui affecte le degré de vide.

Caractéristiques de la soupape papillon à vide bi-directionnelle fermée

1. Sceaux bidirectionnels et sceaux d'arbre autocompensants

   • La soupape papillon sous vide doit assurer des performances d'étanchéité tant dans les directions de pression avant qu'en arrière.la soupape papillon à vide de la série SONGO GIQ a un anneau d'étanchéité qui est comprimé simultanément par la plaque de soupape et le corps de la soupape lorsque la soupape est fermée, avec une fuite nulle dans les deux sens; la tige de vanne adopte une structure d'étanchéité d'arbre autocompensante qui ajuste automatiquement la force de compression au fur et à mesure de l'usure,empêcher l'infiltration inverse de l'atmosphère extérieureUne telle structure est cruciale pour l'intégrité du vide.
2. Matériau de l'anneau d'étanchéité et plage de température
   • Le matériau d'étanchéité détermine la fenêtre de processus applicable de la vanne.Le NBR se situe également dans la plage de température de -25°C à +80°C.
3. Adaptabilité à une large pression et matériau de carrosserie de vanne
   • La pression de fonctionnement de la soupape papillon à vide doit couvrir une large plage allant d'un faible vide à un vide élevé.et la plaque de soupape doit être en acier inoxydable ou en acier au carbone plaqué au nickel pour résister à la corrosion des gaz de procédé et réduire les fuites de gaz.

Dans le domaine du revêtement des semi-conducteurs et des procédés sous vide, la fiabilité de l'étanchéité est la base pour maintenir le niveau de vide du procédé.Sélection des soupapes papillons sous vide avec étanchéité bidirectionnelle, des joints d'arbre autocompensants et une grande adaptabilité à la pression contribuent à réduire les risques de fuite et les temps d'arrêt imprévus.