अर्धचालक कोटिंग उत्पादन लाइन के लिए वैक्यूम रिसाव नियंत्रण

कोटिंग उत्पादन लाइन के लिए नकारात्मक दबाव पाइपलाइनों का पुनर्निर्माण

हमारे पास थाईलैंड में स्थित एक ऑप्टिकल कोटिंग कारखाना है। इस कारखाने के वैक्यूम निकास पाइप मूल रूप से साधारण वायवीय तितली वाल्व का उपयोग करते थे।उपकरण पूर्व निर्धारित वैक्यूम स्तर तक पहुँचने के बाद, दबाव 5 मिनट के भीतर बढ़ेगा।वायुगत वैक्यूम तितली वाल्व, दबाव वसूली की दर में काफी सुधार हुआ, और सीलिंग रिंग को बदलने के लिए अब पूरे वाल्व को अलग करने की आवश्यकता नहीं थी।रखरखाव का समय 4 घंटे से घटाकर 40 मिनट कर दिया गयादक्षिण पूर्व एशिया में अर्धचालक उत्पादन के उभरते क्षेत्रों में ऐसे मामले काफी प्रतिनिधि हैं।

अर्धचालक कोटिंग उत्पादन लाइन पर वैक्यूम रिसाव का प्रभाव

दक्षिण पूर्व एशिया में अर्धचालक और ऑप्टिकल कोटिंग उत्पादन लाइनों में,वैक्यूम प्रणाली की स्थिरता सीधे कोटिंग परतों की गुणवत्ता और उपकरण की समग्र दक्षता को प्रभावित करती हैक्षेत्रीय वेफर कारखानों और पतली फिल्म सौर उत्पादन लाइनों की केंद्रित स्थापना के साथ, इंजीनियरिंग तकनीशियनों को एक आम समस्या का सामना करना पड़ रहा हैःवैक्यूम रिसाव कक्ष दबाव में उतार-चढ़ाव और असामान्य अवशिष्ट गैस आंशिक दबाव का कारण बनता है, जिसके परिणामस्वरूप कोटिंग चिपकने या पिनहोल दोषों में कमी आती है। रिसाव का स्रोत अक्सर कक्ष में ही नहीं, बल्कि पाइप कनेक्शन बिंदुओं पर वाल्व सील संरचना में होता है।

साधारण वाल्व वैक्यूम स्थिति के लिए उपयुक्त क्यों नहीं हैं

1. सीलिंग रिंग का अपर्याप्त संपीड़नः कम दबाव पर, वाल्व प्लेट सीलिंग रिंग के साथ कसकर फिट नहीं होती है, जिससे सीलिंग सतह के साथ गैस लीक हो जाती है।
2. शाफ्ट सील पर रिसावः वाल्व स्टेम के घूर्णन भाग में एक नियमित ओ-रिंग का उपयोग किया जाता है, जो लंबे समय तक घर्षण के कारण समय के साथ धीरे-धीरे रिसाव करेगा।
3. वाल्व निकाय गैस रिलीज़ प्रदूषणः कास्टिंग की सतह पर अवशोषित वाटर वाष्प और कार्बनिक पदार्थों को वैक्यूम स्थितियों में धीरे-धीरे रिलीज़ किया जाता है, जो वैक्यूम डिग्री को प्रभावित करता है।

द्विदिश सील वैक्यूम तितली वाल्व की विशेषताएं

1. द्विदिशात्मक सील और स्व-मुआवजे वाली शाफ्ट सील

   • वैक्यूम तितली वाल्व को आगे और पीछे दोनों दबाव दिशाओं में सील प्रदर्शन सुनिश्चित करना चाहिए।SONGO GIQ श्रृंखला वैक्यूम तितली वाल्व एक सीलिंग अंगूठी है कि एक साथ वाल्व प्लेट और वाल्व शरीर द्वारा संपीड़ित है जब वाल्व बंद है, दोनों दिशाओं में शून्य रिसाव प्राप्त करना; वाल्व स्टेम एक स्व-मुआवजा शाफ्ट सील संरचना को अपनाता है, जो वस्त्र पहनने के रूप में संपीड़न बल को स्वचालित रूप से समायोजित करता है,बाह्य वायुमंडलीय रिवर्स घुसपैठ को रोकनावैक्यूम की अखंडता के लिए ऐसी संरचना महत्वपूर्ण है।
2. सीलिंग रिंग सामग्री और तापमान सीमा
   • सील सामग्री वाल्व की लागू प्रक्रिया खिड़की निर्धारित करती है। एफकेएम -30°C से +150°C तक के तापमान का सामना कर सकता है और मध्यम तापमान वैक्यूम पाइपलाइनों के लिए उपयुक्त है;एनबीआर भी -25°C से +80°C के तापमान सीमा के भीतर है.
3. व्यापक दबाव अनुकूलन और वाल्व शरीर सामग्री
   • वैक्यूम तितली वाल्व का कार्य दबाव कम वैक्यूम से लेकर उच्च वैक्यूम तक की एक विस्तृत सीमा को कवर करना चाहिए।और वाल्व प्लेट स्टेनलेस स्टील या कार्बन स्टील से बने होना चाहिए, जो प्रक्रिया गैसों के संक्षारण का विरोध करने और गैस रिसाव को कम करने के लिए निकल के साथ लेपित है.

अर्धचालक कोटिंग और वैक्यूम प्रक्रियाओं के क्षेत्र में, सीलिंग विश्वसनीयता प्रक्रिया के वैक्यूम स्तर को बनाए रखने की नींव है।द्विदिश सील के साथ वैक्यूम तितली वाल्व का चयन, स्व-मुआवजा देने वाले शाफ्ट सील, और व्यापक दबाव अनुकूलन क्षमता रिसाव के जोखिम और अनियोजित डाउनटाइम को कम करने में मदद करती है।