Контроль утечки вакуума для производственной линии покрытия полупроводников

Реконструкция трубопроводов отрицательного давления для производственной линии покрытия

У нас есть фабрика оптического покрытия, расположенная в Таиланде. Вакуумные выхлопные трубы этой фабрики изначально использовали обычные пневматические клапаны бабочек.После того, как оборудование достигло заранее определенного уровня вакуумаПосле замены препарата давление повышается в течение 5 минут.Пневматический вакуумный клапан бабочки, скорость восстановления давления значительно улучшилась, и замена уплотнительного кольца больше не требует демонтажа всего клапана.Время обслуживания сократилось с 4 часов до 40 минутТакие случаи вполне репрезентативны в развивающихся районах производства полупроводников в Юго-Восточной Азии.

Влияние утечки вакуума на производственную линию покрытия полупроводников

На производственных линиях полупроводников и оптических покрытий в Юго-Восточной Азии,стабильность вакуумной системы напрямую влияет на качество слоев покрытия и общую эффективность оборудования;В связи с концентрированным созданием региональных фабрик пластинки и тонкопленочных солнечных производственных линий инженерные техники сталкиваются с общей проблемой:Утечка вакуума вызывает колебания давления в камере и аномальное частичное давление остаточного газаИсточник утечки часто находится не в самой камере, а в герметичной конструкции клапана в точках соединения труб.

Почему обычные клапаны не подходят для вакуумного состояния

1. Недостаточное сжатие уплотнительного кольца: при низком давлении клапанная плита не плотно укладывается в уплотнительное кольцо, в результате чего газ протекает по уплотнительной поверхности.
2. Утечка на уплотнении вала: вращающаяся часть ствола клапана использует обычное O-кольцо, которое постепенно будет протекать с течением времени из-за длительного трения.
3. Загрязнение отпуска газа корпуса клапана: Водяной пар и органические вещества, адсорбированные на поверхности литья, медленно выделяются в вакуумных условиях, что влияет на степень вакуума.

Особенности двухнаправленного герметичного вакуумного клапана бабочки

1. Двунаправленное уплотнение и самокомпенсирующее уплотнение вала

   • Вакуумный клапан-бабочка должен обеспечивать герметичность как в направлении давления вперед, так и в направлении давления назад.вакуумный клапан бабочки серии SONGO GIQ имеет уплотнительное кольцо, которое одновременно сжимается пластинкой клапана и корпусом клапана при закрытии клапана, достигая нулевой утечки в обоих направлениях; ствол клапана использует самокомпенсирующуюся структуру уплотнения вала, которая автоматически регулирует силу сжатия при появлении износа,предотвращение обратного проникновения внешней атмосферыТакая структура важна для целостности вакуума.
2. Материал уплотнительного кольца и температурный диапазон
   • Фиксирующий материал определяет применимое окно процесса клапана. FKM выдерживает температуры от -30°C до +150°C и подходит для вакуумных трубопроводов средней температуры;NBR также находится в температурном диапазоне от -25°C до +80°C.
3. Широкая адаптивность к давлению и материал корпуса клапана
   • Рабочее давление вакуумного клапана-бабочки должно охватывать широкий диапазон от низкого вакуума до высокого вакуума.и клапанная пластина должна быть изготовлена из нержавеющей стали или углеродистой стали, покрытой никелем, чтобы устойчиво противостоять коррозии процессов газов и уменьшить утечку газа.

В области полупроводниковых покрытий и вакуумных процессов надежность уплотнения является основой для поддержания уровня вакуума процесса.Выбор вакуумных клапанов-бабочек с двунаправленной уплотнением, самокомпенсируемые уплотнения валов и широкая адаптивность давления помогают уменьшить риски утечек и незапланированные простои.