Controle de vazamento de vácuo para linha de produção de revestimento de semicondutores

Reconstrução de tubulações de pressão negativa para linha de produção de revestimento

Temos uma fábrica de revestimento óptico localizada na Tailândia. Os tubos de exaustão a vácuo desta fábrica originalmente usavam válvulas borboleta pneumáticas comuns. Após o equipamento atingir o nível de vácuo predeterminado, a pressão aumentava em 5 minutos. Após a substituição pela válvula borboleta a vácuo pneumática, a taxa de recuperação de pressão foi significativamente melhorada e a substituição do anel de vedação não exigiu a desmontagem completa da válvula. O tempo de manutenção foi reduzido de 4 horas para 40 minutos. Tais casos são bastante representativos nas áreas emergentes de produção de semicondutores no Sudeste Asiático.O impacto do vazamento a vácuo na linha de produção de revestimento de semicondutoresEm linhas de produção de revestimento de semicondutores e óptico no Sudeste Asiático, a estabilidade do sistema de vácuo afeta diretamente a qualidade das camadas de revestimento e a eficiência geral do equipamento. Com o estabelecimento concentrado de fábricas regionais de wafers e linhas de produção de energia solar de filme fino, os técnicos de engenharia enfrentam um problema comum: vazamento a vácuo causa flutuações na pressão da câmara e pressões parciais de gás residual anormais, resultando em diminuição da adesão do revestimento ou defeitos de pinhole. A fonte de vazamento geralmente não está na própria câmara, mas na estrutura de vedação da válvula nos pontos de conexão da tubulação.

Por que válvulas comuns não são adequadas para condições de vácuo

Compressão insuficiente do anel de vedação: Em baixa pressão, a placa da válvula não se ajusta firmemente ao anel de vedação, causando vazamento de gás ao longo da superfície de vedação.

Vazamento na vedação do eixo: A parte rotativa da haste da válvula usa um O-ring comum, que vazará gradualmente com o tempo devido ao atrito prolongado.

1. Contaminação por liberação de gás do corpo da válvula: O vapor d'água e substâncias orgânicas adsorvidas na superfície da fundição liberam lentamente sob condições de vácuo, afetando o grau de vácuo.
2. As características da válvula borboleta a vácuo com vedação bidirecional
3. Vedação Bidirecional e Vedação de Eixo Autocompensadora

A válvula borboleta a vácuo deve garantir o desempenho de vedação tanto na direção de pressão direta quanto reversa. Por exemplo, a válvula borboleta a vácuo da série SONGO GIQ possui um anel de vedação que é simultaneamente comprimido pela placa da válvula e pelo corpo da válvula quando a válvula está fechada, alcançando zero vazamento em ambas as direções; a haste da válvula adota uma estrutura de vedação de eixo autocompensadora, que ajusta automaticamente a força de compressão à medida que o desgaste ocorre, evitando a infiltração reversa de atmosfera externa. Tal estrutura é crucial para a integridade do vácuo.

1. Material do anel de vedação e faixa de temperatura

   • O material de vedação determina a janela de processo aplicável da válvula. FKM pode suportar temperaturas de -30°C a +150°C e é adequado para tubulações de vácuo de temperatura média; NBR também está dentro da faixa de temperatura de -25°C a +80°C.
2. Ampla adaptabilidade de pressão e material do corpo da válvula
   • A pressão de trabalho da válvula borboleta a vácuo deve cobrir uma ampla faixa, de vácuo baixo a vácuo alto. O corpo da válvula, a haste da válvula e a placa da válvula devem ser feitos de aço inoxidável ou aço carbono revestido de níquel para resistir à corrosão dos gases de processo e reduzir o vazamento de gás.
3. No campo de revestimento de semicondutores e processos a vácuo, a confiabilidade da vedação é a base para manter o nível de vácuo do processo. A seleção de válvulas borboleta a vácuo com vedação bidirecional, vedações de eixo autocompensadoras e ampla adaptabilidade de pressão ajuda a reduzir os riscos de vazamento e o tempo de inatividade não planejado.