Контроль вакуумной утечки для производственной линии нанесения покрытий на полупроводники

Ανασυγκρότηση αγωγών αρνητικής πίεσης για την παραγωγή επικάλυψης

Έχουμε ένα εργοστάσιο οπτικής επικάλυψης που βρίσκεται στην Ταϊλάνδη. Οι σωλήνες εξάτμισης κενού αυτού του εργοστασίου χρησιμοποιούσαν αρχικά συνηθισμένες πνευματικές βαλβίδες πεταλούδας.Αφού ο εξοπλισμός φτάσει στο προκαθορισμένο επίπεδο κενούΜετά την αντικατάσταση τηςΠνευματική βαλβίδα πεταλούδας κενού, ο ρυθμός ανάκτησης πίεσης βελτιώθηκε σημαντικά και η αντικατάσταση του δαχτυλιδιού σφράγισης δεν απαιτούσε πλέον την αποσυναρμολόγηση ολόκληρης της βαλβίδας.Ο χρόνος συντήρησης μειώθηκε από 4 ώρες σε 40 λεπτάΤέτοιες περιπτώσεις είναι αρκετά αντιπροσωπευτικές στις αναδυόμενες περιοχές παραγωγής ημιαγωγών στη Νοτιοανατολική Ασία.

Η επίδραση της διαρροής κενού στην γραμμή παραγωγής επικαλύψεων ημιαγωγών

Σε γραμμές παραγωγής ημιαγωγών και οπτικών επικαλύψεων στη Νοτιοανατολική Ασία,η σταθερότητα του συστήματος κενού επηρεάζει άμεσα την ποιότητα των στρωμάτων επικάλυψης και τη συνολική απόδοση του εξοπλισμούΜε την συγκεντρωτική εγκατάσταση περιφερειακών εργοστασίων πλακιδίων και γραμμών παραγωγής ηλιακών υλικών λεπτής ταινίας, οι τεχνικοί μηχανικών αντιμετωπίζουν ένα κοινό πρόβλημα:Η διαρροή κενού προκαλεί διακυμάνσεις στην πίεση του θαλάμου και μη φυσιολογικές μερικές πιέσεις του υπολειμματικού αερίουΗ πηγή διαρροής συχνά δεν βρίσκεται στον ίδιο τον θάλαμο, αλλά στη δομή σφράγισης βαλβίδας στα σημεία σύνδεσης του σωλήνα.

Γιατί οι συνηθισμένες βαλβίδες δεν είναι κατάλληλες για την κατάσταση κενού

1. Ανεπαρκής συμπίεση του δακτυλίου σφράγισης: Σε χαμηλή πίεση, η πλάκα της βαλβίδας δεν ταιριάζει στενά με τον δακτυλικό σφράγιση, προκαλώντας διαρροή αερίου κατά μήκος της επιφάνειας σφράγισης.
2. Διαρροή στην σφραγίδα του άξονα: Το περιστρεφόμενο μέρος του στελέχους της βαλβίδας χρησιμοποιεί ένα κανονικό δαχτυλίδι O, το οποίο θα διαρρεύσει σταδιακά με την πάροδο του χρόνου λόγω παρατεταμένης τριβής.
3. Ακαθαρσία από την απελευθέρωση αερίων από το σώμα της βαλβίδας: Ο υδρατμός και οι οργανικές ουσίες που απορροφώνται στην επιφάνεια του χύτευσης απελευθερώνονται αργά υπό συνθήκες κενού, επηρεάζοντας τον βαθμό κενού.

Τα χαρακτηριστικά της αμφίδρομης σφραγισμένης βαλβίδας πεταλούδας κενού

1. Διοικητική επιφάνεια

   • Η βαλβίδα πεταλούδας κενού πρέπει να εξασφαλίζει την απόδοση σφράγισης τόσο προς τα εμπρός όσο και προς τα πίσω.η βαλβίδα πεταλούδας κενού της σειράς SONGO GIQ διαθέτει δαχτυλίδι σφράγισης που συμπίπτεται ταυτόχρονα από την πλάκα της βαλβίδας και το σώμα της βαλβίδας όταν η βαλβίδα κλείνει, επιτυγχάνοντας μηδενική διαρροή και στις δύο κατευθύνσεις· η ράμφος της βαλβίδας υιοθετεί μια δομή σφραγίδας αυτοαποζημιώσεως του άξονα, η οποία ρυθμίζει αυτόματα τη δύναμη συμπίεσης κατά την εμφάνιση φθοράς,Αποτροπή της εξωτερικής αντιστροφής της ατμοσφαιρικής διείσδυσηςΜια τέτοια δομή είναι ζωτικής σημασίας για την ακεραιότητα του κενού.
2. Υλικό δαχτυλιδιού σφράγισης και εύρος θερμοκρασιών
   • Το υλικό σφράγισης καθορίζει το εφαρμοστέο παράθυρο διαδικασίας της βαλβίδας.Το NBR βρίσκεται επίσης στο εύρος θερμοκρασίας από -25°C έως +80°C.
3. Ευρεία προσαρμοστικότητα στην πίεση και υλικό σώματος βαλβίδας
   • Η πίεση λειτουργίας της βαλβίδας πεταλούδας κενού πρέπει να καλύπτει ένα ευρύ φάσμα από χαμηλό κενό σε υψηλό κενό.και η πλάκα της βαλβίδας πρέπει να είναι κατασκευασμένη από ανοξείδωτο χάλυβα ή χάλυβα άνθρακα επιχρισμένο με νικέλιο για να αντιστέκεται στη διάβρωση των αερίων της διαδικασίας και να μειώνει τη διαρροή αερίων.

Στον τομέα της επικάλυψης ημιαγωγών και των διεργασιών κενού, η αξιοπιστία σφράγισης αποτελεί το θεμέλιο για τη διατήρηση του επιπέδου κενού της διαδικασίας.Επιλογή βαλβίδων πεταλούδας κενού με αμφίδρομη σφράγιση, αυτοαποζημιωτικές σφραγίδες άξονα και ευρεία προσαρμοστικότητα πίεσης συμβάλλουν στη μείωση των κινδύνων διαρροής και των μη προγραμματισμένων χρόνων διακοπής.