การควบคุมการรั่วไหลของสุญญากาศสำหรับสายการผลิตเคลือบเซมิคอนดักเตอร์

การสร้างท่อแรงดันลบสำหรับสายการผลิตเคลือบผิว

เรามีโรงงานเคลือบผิวด้วยแสงตั้งอยู่ในประเทศไทย ท่อดูดอากาศสุญญากาศของโรงงานแห่งนี้เดิมใช้ลิ้นผีเสื้อแบบนิวแมติกธรรมดา หลังจากอุปกรณ์ถึงระดับสุญญากาศที่กำหนดไว้ ความดันจะเพิ่มขึ้นภายใน 5 นาที หลังจากเปลี่ยนลิ้นผีเสื้อสุญญากาศแบบนิวแมติก อัตราการฟื้นตัวของความดันดีขึ้นอย่างมาก และการเปลี่ยนแหวนซีลไม่จำเป็นต้องถอดลิ้นทั้งตัวออก เวลาในการบำรุงรักษาลดลงจาก 4 ชั่วโมง เหลือ 40 นาที กรณีเช่นนี้เป็นตัวแทนที่ดีในพื้นที่การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่กำลังเติบโตในเอเชียตะวันออกเฉียงใต้ผลกระทบของการรั่วไหลของสุญญากาศต่อสายการผลิตเคลือบผิวเซมิคอนดักเตอร์ในสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเคลือบผิวด้วยแสงในเอเชียตะวันออกเฉียงใต้ ความเสถียรของระบบสุญญากาศส่งผลโดยตรงต่อคุณภาพของชั้นเคลือบและประสิทธิภาพโดยรวมของอุปกรณ์ ด้วยการก่อตั้งโรงงานเวเฟอร์และสายการผลิตแผงโซลาร์เซลล์แบบฟิล์มบางในภูมิภาคอย่างเข้มข้น ช่างเทคนิควิศวกรรมกำลังเผชิญกับปัญหาทั่วไป: การรั่วไหลของสุญญากาศทำให้เกิดความผันผวนของความดันในห้องและแรงดันย่อยของก๊าซตกค้างที่ผิดปกติ ซึ่งท้ายที่สุดจะส่งผลให้การยึดเกาะของชั้นเคลือบต่ำลงหรือเกิดข้อบกพร่องแบบรูเข็ม แหล่งที่มาของการรั่วไหลมักจะไม่ได้อยู่ที่ตัวห้องเอง แต่อยู่ที่โครงสร้างซีลของลิ้นที่จุดเชื่อมต่อท่อ

ทำไมลิ้นธรรมดาจึงไม่เหมาะกับสภาวะสุญญากาศ

การบีบอัดแหวนซีลไม่เพียงพอ: ที่ความดันต่ำ แผ่นลิ้นจะไม่แนบสนิทกับแหวนซีล ทำให้ก๊าซรั่วไหลไปตามพื้นผิวซีล

การรั่วไหลที่ซีลเพลา: ส่วนที่หมุนของก้านลิ้นใช้โอริงธรรมดา ซึ่งจะค่อยๆ รั่วไหลเมื่อเวลาผ่านไปเนื่องจากการเสียดสีเป็นเวลานาน

1. การปนเปื้อนจากการปล่อยก๊าซของตัวลิ้น: ไอน้ำและสารอินทรีย์ที่ดูดซับบนพื้นผิวของชิ้นหล่อจะค่อยๆ ปล่อยออกมาภายใต้สภาวะสุญญากาศ ส่งผลต่อระดับสุญญากาศ
2. คุณสมบัติของลิ้นผีเสื้อสุญญากาศแบบซีลสองทิศทาง
3. ซีลสองทิศทางและซีลเพลาแบบปรับตัวเองได้

ลิ้นผีเสื้อสุญญากาศควรรับประกันประสิทธิภาพการซีลทั้งในทิศทางแรงดันไปข้างหน้าและย้อนกลับ ตัวอย่างเช่น ลิ้นผีเสื้อสุญญากาศ SONGO รุ่น GIQ มีแหวนซีลที่ถูกบีบอัดโดยแผ่นลิ้นและตัวลิ้นพร้อมกันเมื่อลิ้นปิด ทำให้เกิดการรั่วไหลเป็นศูนย์ทั้งสองทิศทาง ก้านลิ้นใช้โครงสร้างซีลเพลาแบบปรับตัวเองได้ ซึ่งจะปรับแรงบีบอัดโดยอัตโนมัติเมื่อเกิดการสึกหรอ ป้องกันการแทรกซึมย้อนกลับของบรรยากาศภายนอก โครงสร้างดังกล่าวมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อความสมบูรณ์ของสุญญากาศ

1. วัสดุแหวนซีลและช่วงอุณหภูมิ

   • วัสดุซีลเป็นตัวกำหนดช่วงกระบวนการที่ใช้งานได้ของลิ้น FKM สามารถทนอุณหภูมิได้ตั้งแต่ -30°C ถึง +150°C และเหมาะสำหรับท่อสุญญากาศอุณหภูมิปานกลาง NBR ก็อยู่ในช่วงอุณหภูมิ -25°C ถึง +80°C เช่นกัน
2. การปรับแรงดันที่กว้างและวัสดุตัวลิ้น
   • แรงดันใช้งานของลิ้นผีเสื้อสุญญากาศควรกว้างตั้งแต่สุญญากาศต่ำถึงสุญญากาศสูง ตัวลิ้น ก้านลิ้น และแผ่นลิ้นควรทำจากสแตนเลสหรือเหล็กคาร์บอนชุบนิกเกิลเพื่อทนต่อการกัดกร่อนของก๊าซในกระบวนการและลดการรั่วไหลของก๊าซ
3. ในสาขาการเคลือบเซมิคอนดักเตอร์และกระบวนการสุญญากาศ ความน่าเชื่อถือของการซีลเป็นรากฐานในการรักษาระดับสุญญากาศของกระบวนการ การเลือกลิ้นผีเสื้อสุญญากาศที่มีการซีลสองทิศทาง ซีลเพลาแบบปรับตัวเองได้ และการปรับแรงดันที่กว้าง ช่วยลดความเสี่ยงของการรั่วไหลและการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด