Vakuumleckagekontrolle für die Halbleiterbeschichtungsproduktionslinie

Umbau von Abdruckrohrleitungen für die Beschichtungsanlage

Wir haben eine optische Beschichtungsfabrik in Thailand. Die Vakuumauspuffrohre dieser Fabrik verwendeten ursprünglich gewöhnliche pneumatische Schmetterlingsventile.Nach Erreichen des vorgegebenen VakuumniveausDer Druck steigt innerhalb von 5 Minuten.mit einer Breite von mehr als 20 mm,, wurde die Druckwiederherstellungsrate deutlich verbessert, und der Austausch des Versiegelungsrings erforderte nicht länger den Abbau des gesamten Ventils.Die Wartungszeit wurde von 4 Stunden auf 40 Minuten reduziertSolche Fälle sind in den aufstrebenden Halbleiterproduktionsgebieten Südostasiens recht repräsentativ.

Die Auswirkungen von Vakuumleckagen auf die Produktionslinie für Halbleiterbeschichtungen

In Halbleiter- und optischen Beschichtungsanlagen in Südostasien,Die Stabilität des Vakuumsystems beeinflusst unmittelbar die Qualität der Beschichtungsschichten und den Gesamtwirkungsgrad der Anlage.Mit dem konzentrierten Aufbau regionaler Waferfabriken und dünnschichtiger Solarproduktionslinien stehen Ingenieurtechniker vor einem gemeinsamen Problem:Vakuumleckage verursacht Schwankungen des Kammerdrucks und abnorme Restgas-TeildruckeDie Leckagequelle befindet sich oft nicht in der Kammer selbst, sondern in der Ventildichtungsstruktur an den Rohranschlussstellen.

Warum sind gewöhnliche Ventile nicht geeignet für Vakuum

1. Unzureichende Verdichtung des Versiegelungsrings: Bei niedrigem Druck passt die Ventilplatte nicht fest zum Versiegelungsring, wodurch Gas entlang der Versiegelungsoberfläche austritt.
2. Leckage an der Schachtdichtung: Der drehende Teil des Ventilstammes verwendet einen regelmäßigen O-Ring, der im Laufe der Zeit durch längere Reibung allmählich auslaufen wird.
3. Verunreinigung durch Gasfreisetzung des Ventilkörpers: Der Wasserdampf und organische Stoffe, die auf der Oberfläche des Gießwerks adsorbiert werden, werden unter Vakuumbedingungen langsam freigesetzt und beeinflussen den Vakuumgrad.

Die Eigenschaften des bidirektionalen versiegelten Vakuumschmetterlingsventils

1. Zwei-Richtungsdichtung und selbstkompensierende Schachtdichtung

   • Das Vakuumschmetterlingsventil sollte sowohl in der vorwärts als auch in der rückwärts gerichteten Druckrichtung die Dichtungsleistung gewährleisten.Das Vakuumschmetterlingsventil der Serie SONGO GIQ verfügt über einen Dichtungsring, der bei Schließung der Ventilplatte und des Ventilkörpers gleichzeitig komprimiert wird., mit einem Leck in beide Richtungen von null; der Ventilstamm hat eine selbstkompensierende Schachtdichtungsstruktur, die die Druckkraft automatisch bei Verschleiß anpasst,Verhinderung der äußeren Umkehrinfiltration in die AtmosphäreEine solche Struktur ist entscheidend für die Vakuumintegrität.
2. Versiegelungsringmaterial und Temperaturbereich
   • Das Dichtungsmaterial bestimmt das anwendbare Prozessfenster des Ventils.NBR liegt auch im Temperaturbereich von -25°C bis +80°C.
3. Anpassungsfähigkeit unter großem Druck und Ventilkörpermaterial
   • Der Arbeitsdruck des Vakuumschmetterlingsventils sollte einen großen Bereich von niedrigem Vakuum bis hohem Vakuum abdecken.und die Ventilplatte sollte aus Edelstahl oder mit Nickel beschichtetem Kohlenstoffstahl bestehen, um der Korrosion von Prozessgasen zu widerstehen und das Gasleck zu reduzieren.

Im Bereich der Halbleiterbeschichtung und der Vakuumverfahren ist die Dichtbarkeit die Grundlage für die Aufrechterhaltung des Vakuumniveaus des Prozesses.Auswahl von Vakuumschmetterlingsventilen mit bidirektionaler Dichtung, selbstkompensierende Schachtdichtungen und eine große Druckanpassungsfähigkeit tragen zur Verringerung von Leckrisiken und ungeplanten Ausfallzeiten bei.