Yarı iletken kaplama üretim hattı için vakum sızıntısı kontrolü

Vakum basınçlı boru hatlarının kaplama üretim hattı için yeniden inşası

Tayland'da optik kaplama fabrikamız var. Bu fabrikanın vakum egzoz boruları başlangıçta sıradan pnömatik kelebek vanalar kullanıyordu. Ekipman belirlenen vakum seviyesine ulaştıktan sonra, basınç 5 dakika içinde yükseliyordu. Pnömatik vakum kelebek vana ile değiştirildikten sonra, basınç toparlanma hızı önemli ölçüde iyileşti ve sızdırmazlık halkasının değiştirilmesi tüm vananın sökülmesini gerektirmiyordu. Bakım süresi 4 saatten 40 dakikaya düştü. Bu tür vakalar Güneydoğu Asya'daki gelişmekte olan yarı iletken üretim alanlarında oldukça temsilidir.Vakum sızıntısının yarı iletken kaplama üretim hattı üzerindeki etkisiGüneydoğu Asya'daki yarı iletken ve optik kaplama üretim hatlarında, vakum sisteminin kararlılığı kaplama katmanlarının kalitesini ve ekipmanın genel verimliliğini doğrudan etkiler. Bölgesel wafer fabrikalarının ve ince film güneş paneli üretim hatlarının yoğun bir şekilde kurulmasıyla, mühendislik teknisyenleri yaygın bir sorunla karşı karşıya kalıyor: vakum sızıntısı, hazne basıncında dalgalanmalara ve anormal artık gaz kısmi basınçlarına neden olarak nihayetinde kaplama yapışmasının azalmasına veya pinhole kusurlarına yol açar. Sızıntı kaynağı genellikle haznenin kendisinde değil, boru bağlantı noktalarındaki vana sızdırmazlık yapısında bulunur.

Sıradan vanalar neden vakum koşulları için uygun değildir

Sızdırmazlık halkasında yetersiz sıkıştırma: Düşük basınçta, vana plakası sızdırmazlık halkasıyla sıkıca oturmaz ve sızdırmazlık yüzeyi boyunca gaz sızmasına neden olur.

Mil sızdırmazlığında sızıntı: Vana milinin dönen kısmı, uzun süreli sürtünme nedeniyle zamanla sızdıracak düzenli bir O-ring kullanır.

1. Vana gövdesi gaz salınımı kirliliği: Döküm yüzeyine adsorbe olmuş su buharı ve organik maddeler vakum koşulları altında yavaşça salınarak vakum derecesini etkiler.
2. Çift yönlü sızdırmaz vakum kelebek vananın özellikleri
3. Çift Yönlü Sızdırmazlık ve Kendiliğinden Ayarlanan Mil Sızdırmazlığı

Vakum kelebek vanası, hem ileri hem de ters basınç yönlerinde sızdırmazlık performansını sağlamalıdır. Örneğin, SONGO GIQ serisi vakum kelebek vanası, vana kapalıyken vana plakası ve vana gövdesi tarafından aynı anda sıkıştırılan bir sızdırmazlık halkasına sahiptir ve her iki yönde de sıfır sızıntı sağlar; vana mili, aşınma meydana geldikçe sıkıştırma kuvvetini otomatik olarak ayarlayan, dış atmosferin ters sızmasını önleyen kendiliğinden ayarlanan bir mil sızdırmazlık yapısı benimser. Böyle bir yapı, vakum bütünlüğü için kritik öneme sahiptir.

1. Sızdırmazlık halkası malzemesi ve sıcaklık aralığı

   • Sızdırmazlık malzemesi, vananın uygulanabilir işlem penceresini belirler. FKM, -30°C ila +150°C arasındaki sıcaklıklara dayanabilir ve orta sıcaklıktaki vakum boru hatları için uygundur; NBR de -25°C ila +80°C sıcaklık aralığındadır.
2. Geniş basınç uyumluluğu ve vana gövdesi malzemesi
   • Vakum kelebek vanasının çalışma basıncı, düşük vakumdan yüksek vakuma kadar geniş bir aralığı kapsamalıdır. Vana gövdesi, vana mili ve vana plakası, işlem gazlarının korozyonuna dayanmak ve gaz sızıntısını azaltmak için paslanmaz çelikten veya nikel kaplı karbon çeliğinden yapılmalıdır.
3. Yarı iletken kaplama ve vakum işlemleri alanında, sızdırmazlık güvenilirliği, işlem vakum seviyesini korumanın temelini oluşturur. Çift yönlü sızdırmazlık, kendiliğinden ayarlanan mil sızdırmazlığı ve geniş basınç uyumluluğuna sahip vakum kelebek vanalarının seçilmesi, sızıntı risklerini ve plansız duruş sürelerini azaltmaya yardımcı olur.